射线光电子能谱分析论文

β-Ga2O3体单晶X射线光电子能谱分析
论文摘要通过对导模法制备的非故意掺杂、Si掺杂β-Ga2O3晶体和Si掺杂后退火处理的β-Ga2O3晶体进行了X射线光电子能谱分析（XPS）,对比分析不同样品的Ga3d、Ga2...