射频辉光放电论文

自偏压对低气压射频氩气辉光放电影响的数值模拟
论文摘要辉光放电等离子体技术工艺成本不高,并且与现阶段所提倡的环保理念相吻合。凭借着该技术所呈现出来的优点,它在许多工业领域内被广泛采用。例如在微电子领域中的半导体制作与加工、...
脉冲辅助大气压射频辉光放电数值模拟
论文摘要建立一维自洽流体数值模型,研究大气压氦气条件下,脉冲辅助射频放电时,脉冲放电对射频起辉及稳态放电特性的影响,着重讨论脉冲放电及射频放电电压保持不变时,脉冲放电和射频放电...