射频发生器论文

PECVD RF系统原理和故障改善
论文摘要本文介绍了PECVDG8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RFGenerator设置,RFmatch电容配比实...