射频磁控溅射沉积论文

xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电特性
论文摘要近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。有效横向压电系数(e31,f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBiInO3-（1...