射频磁控溅镀论文

磁控溅镀法制备Al掺杂ZnO薄膜的特性分析
论文摘要以射频磁控溅镀法在柔性聚碳酸酯基板上成长Al掺杂ZnO薄膜,利用XRD、AES、霍尔效应测试仪及单色分光计测量分析Al靶功率对薄膜光电特性的影响.XRD分析表明所有薄膜...