深硅刻蚀论文

多弹簧悬臂结构微加速度传感器的设计与制备
论文摘要加速度传感器是惯性测量系统的核心部件,在矿产、油气田资源勘探等地质勘探方面有着广泛的应用。随着地质结构勘探对精度要求的不断提高,传统用于地质勘探的加速度计已无法满足微震...