声光调制论文

基于声光调制的激光相干振动测量技术研究
论文摘要随着科学技术的飞速发展,各行业对振动测量技术提出了更高的要求,尤其在微机电系统和数据硬盘组件等精密器件的研究和开发中,用到的振动测量仪器需要达到纳米级分辨率且拥有良好的...