栅介质材料论文

栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究
论文摘要系统地对基于高介电常数材料HfO2和传统的介质材料SiO2这两种不同栅介质层材料的硅薄膜晶体管进行建模并对不同尺寸和温度条件下的薄膜晶体管的工作特性进行了研究.获得了不...