扫描聚焦射线成像技术论文

GaAs光电阴极制备工艺中表面污染的微区分析
论文摘要基于超高真空光电阴极制备与表面分析互联装置开展了反射式GaAs光电阴极激活实验,并利用扫描聚焦X射线光电子能谱对化学清洗后及Cs/O激活后的阴极表面进行了微区分析.通过...