软刻蚀论文

采用PDMS芯模微电铸成形镍微齿轮
论文摘要以Φ3.60mm×0.18mm的微齿轮作为模板,先用软刻蚀技术制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性模具,通过将PDMS模具黏附在石墨基片上与在PDMS模具表面喷金制备成两...