热退火论文

离子在近电子能损阈值能区诱发云母表面小丘形成
论文摘要利用0.65MeV的He+离子轰击白云母膜,并在大气环境下用原子力显微镜（AFM）的轻敲模式分析了辐照后的膜表面。实验结果显示,在不同温度下离子诱导的小丘高度在小于1n...