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热沉积论文
热沉积论文
基于Au/PDMS自组装褶皱图案的实验研究
论文摘要采用离子溅射法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面上沉积30~50nm厚的Au膜。基于Au与PDMS热膨胀系数的差异,有效制备出规则有序且周期可控的光栅结构和锯齿结构褶皱图...