曲面补偿论文

一种准分子激光曲面微加工过程补偿装置
论文摘要准分子激光直写在曲面加工情形下的加工效果将呈现出加工不均匀、加工线宽不一致等现象。为了实现准分子激光曲面微加工过程中对加工位置的监测补偿。在装置运行前选取基准距离,在装...