缺陷发光论文

论文摘要采用直流反应磁控溅射法,在玻璃衬底上生长了沿（002）择优取向的AlN薄膜,用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对AlN薄膜结构和表面形貌进行表征,并测量...