球差校正透射电子显微术论文

立方碳化硅薄膜的层错结构特征
论文摘要本文利用微波等离子体增强化学气相沉积（MPCVD）和脉冲激光沉积（PLD）等薄膜制备技术分别在硅（Si）{001}基片上生长了立方碳化硅（3C-SiC）薄膜。两种方法制...