球差矫正电镜论文

基于球差矫正电镜在原子尺度探究氮化铝在蓝宝石衬底上的生长过程
论文摘要族氮化物在光电器件方面有着广泛的应用。探究Ⅲ族氮化物的外延生长机制对于制备高质量薄膜材料器件具有重要意义。本文利用球差矫正透射电子显微镜,揭示了金属有机化学气相沉积方法...