清洗设备论文

我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究
论文摘要当前半导体行业的关键设备及关键部件基本由欧美日垄断,加上技术封锁造成的代差,未来很长一段时间我国半导体设备制造在软硬件上都无法实现质的跨越。通过综述国内外半导体清洗装备...