氢化尾气论文

气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量
论文摘要建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法。采用双通道气相色谱仪,DB-1毛细管色谱柱进行分离,用单丝热导检测器进行检测。论文目录1尾气组分存在问题及解决措...