• 靶材用氧化铌粉体的制备及表征

    靶材用氧化铌粉体的制备及表征

    论文摘要采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分...