气浮支承论文

论文摘要液晶玻璃平板在线检测流程当中,气膜的流场压力和速度的分布需要较高的稳定性,为了比较不同的气浮平台供气方式对气膜稳定性的影响,结合气体润滑理论,分析得出气膜稳定后的压力分...