切削减薄工艺论文

基于热模压和切削减薄工艺制备聚合物微静电驱动器
论文摘要为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高...