偏振像差论文

高NA光学系统偏振像差研究
论文摘要高NA光学系统一般指的是高NA投影光刻物镜。高NA投影光刻物镜是光刻机的核心组成部分,其成像质量的好坏决定着最终的光刻性能。偏振像差会对高NA光学投影光刻物镜成像产生影...
矢量光场与复杂光学系统相互作用机理研究
论文摘要近年来随着偏振光学的迅速发展,人们逐渐意识到偏振能够为光学技术的发展和应用提供更为丰富的自由度。由于独特的空间偏振状态分布,矢量光场在空间传播演化及与物质相互作用的过程...