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基于光学干涉检测的若干应用研究
论文摘要近年来,随着光电技术的飞速发展,光学干涉检测因其高精度、高灵敏度、实时、全场测量、无损等优点在超精密加工、国防军工、生命科学等领域应用广泛。在力学实验中,对被测物体进行...