纳米压印技术论文

基于纳米压印的片上聚二甲基硅氧烷微环腔实验研究
论文摘要回音壁微腔因其具有超高的品质因子、超小的模式体积等优势在传感检测、非线性光学、激光器和量子信息等领域具有潜在的应用价值。其中,片上回音壁微腔因可以实现与其他器件的兼容与...