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3A21铝合金阳极氧化膜的原子层沉积封闭工艺
论文摘要采用原子层沉积(ALD)法对铝合金硫酸阳极氧化膜进行封闭,介绍了其主要工艺流程和参数。通过扫描电镜分析和中性盐雾试验对比了未封孔试样、沸水封闭试样和ALD封闭试样的表面...