膜系设计论文

高NA光学系统偏振像差研究
论文摘要高NA光学系统一般指的是高NA投影光刻物镜。高NA投影光刻物镜是光刻机的核心组成部分,其成像质量的好坏决定着最终的光刻性能。偏振像差会对高NA光学投影光刻物镜成像产生影...
3.7～4.8μm中红外带通滤光膜研制
论文摘要以光学薄膜理论为出发点,系统介绍了3.7～4.8μm带通滤光膜的理论设计与优化、实际生产制备以及成品测试方法。考虑到膜料性能及膜层匹配等问题,分别选用锗和一氧化硅作为高...
SiO2光学参数对辊涂法镀膜的影响
论文摘要采用辊涂法在玻璃上制备合适的增透膜薄膜可以增加玻璃光透过率,该文依据实际生产条件,根据特征矩阵法,利用TFCALE软件探究了SiO2单层膜薄膜材料的光学参数对辊涂法镀膜...
2.06μm激光偏振膜设计与工艺方法
论文摘要介绍了近红外固体激光器中2.06■m激光偏振膜的用途、设计与制备方法。基于薄膜光学的基本理论以及三种不同膜系结构的对比,确定了初始膜系结构。讨论了薄膜选材、通带波纹压缩...