膜厚仪论文

全文摘要本实用新型公开一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置，该装置包括设备框架、真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结...