脉冲热蒸发化学气相沉积论文

采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜
论文摘要采用自行搭建的脉冲热蒸发化学气相沉积（PSE-CVD）系统,制备了薄膜状的氧化亚铜样品。通过使用XRD、SEM和XPS三种检测手段分别从晶相鉴别、微观特征和元素构成的方...