脉冲偏压论文

脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响
论文摘要MoN薄膜是一种具有潜在应用价值的薄膜材料,但对于其结构和性能的研究还较少。采用直流磁控溅射技术在304不锈钢基体表面沉积MoN薄膜,研究了脉冲偏压对MoN薄膜结构和性...