氯硅烷浓度论文

多晶硅还原反应异常沉积研究
论文摘要随着多晶硅行业竞争的日益激烈,全世界大部分多晶硅生产企业均采用改良西门子法来生产多晶硅。在多晶硅生产过程中,异常沉积的情况时常发生,反应机理却不明确,因此异常沉积的情况...