卢瑟福背散射实验论文

论文摘要卢瑟福背散射实验可通过背散射粒子的能谱分析材料中杂质元素浓度及深度分布,其中,获取深度分布的计算方法主要包括近似计算法(表面能量近似和平均能量近似)与数值积分法,计算过...