离子束抛光论文

融石英光学材料离子束抛光去除特性研究
论文摘要为研究融石英光学材料表面离子束抛光的去除特性,在分析法拉第扫描的离子束电流密度分布参数与去除函数间关系的基础上,建立基于法拉第扫描的离子束抛光去除函数模型。采用等间距采...