离子束溅射论文

离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用
论文摘要为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺...
低损耗1080 nm高功率激光高反膜元件的研制
论文摘要针对1080nm连续激光光学系统中反射镜的需求,设计了低损耗高反膜膜系,优化了膜系中的电场分布,对高反膜元件工艺体系进行了控制。采用离子束溅射工艺,成功地在超光滑石英玻...