离子束溅射技术论文

离子束溅射宽带吸收薄膜设计与制备技术研究
论文摘要Si薄膜在可见光和近红外波段具有一定的吸收特性,可用于宽带吸收薄膜的制备。采用离子束溅射技术,在熔融石英基底上制备了不同沉积工艺参数的Si薄膜,基于透、反射光谱和椭偏光...