离子能量分布论文

论文摘要随着半导体技术的飞速发展,半导体器件的特征尺寸变得越来越小,集成电路的结构也变得越来越复杂。因此,在半导体芯片生产过程中,起关键作用的等离子体刻蚀技术需要进行更加精确的...