硫族化合物论文

铝酸锂晶体和硫族化合物的离子注入特性研究
论文摘要器件的微型化已成为现今技术发展的趋势,对材料进行改性研究以制备出微米级、亚微米级甚至深亚微米级器件具有重要意义。离子注入是一项成熟的材料改性技术,可通过控制注入离子的种...