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四氯化硅冷氢化技术研究进展
论文摘要综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。论文目录1四氯化硅冷氢化反应机理2反应条件对四氯化硅冷氢化的影响3催...