冷氢化技术论文

论文摘要提高冷氢化技术中三氯氢硅的收率是多晶硅生产以及有机硅行业急需解决的技术难题。在对工艺装置的温度、压力等技术参数基本达到最优的情况下,添加催化剂成为提高冷氢化三氯氢硅收率...