冷阱灌论文

冷阱灌液氮装置及冷阱论文和设计
全文摘要本实用新型涉及半导体加工工艺的冷却设备技术领域，公开了一种冷阱灌液氮装置及冷阱，具体的，冷阱灌液氮装置包括漏斗、气液分离器、三通阀以及回流水管；三通阀的三个阀口分别为高...