类金刚石薄膜论文
![掺杂类金刚石薄膜制备及其摩擦性能的仿真研究]()
掺杂类金刚石薄膜制备及其摩擦性能的仿真研究
论文摘要在分子动力学（Moleculardynamics,MD）仿真中利用高温加热和快速淬火,模拟制备出分别含有Cu或Si夹杂的类金刚石（DLC）薄膜,再通过刚性压头对表面的磨...![制备工艺参数对无氢类金刚石薄膜结构及光学性能的影响]()
制备工艺参数对无氢类金刚石薄膜结构及光学性能的影响
论文摘要采用射频磁控溅射技术在玻璃基底和单晶硅片上制备了无氢DLC薄膜。采用多种技术手段表征了不同工艺参数下制备的DLC薄膜的结构及光学性能。结果表明,溅射功率、工作气压、基底...![高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能]()
高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能
论文摘要采用高功率脉冲复合直流磁控溅射技术,以工作气压、基底偏压和靶电压为影响因素设计正交试验进行类金刚石（DLC）薄膜的制备研究,采用扫描电镜（SEM）、纳米硬度计、拉曼光谱...![利用光热反射法研究多层薄膜结构的散热性能]()
利用光热反射法研究多层薄膜结构的散热性能
论文摘要搭建了纳秒激光加热、连续激光探测的光热反射实验系统,通过测量芯片中多层微米厚度薄膜不同位置的反射信号,评估了不同薄膜结构对器件散热的影响.在多层薄膜热传导模型的基础上,...![磁过滤电弧离子镀制备DLC薄膜的表面形貌和成键状态]()
磁过滤电弧离子镀制备DLC薄膜的表面形貌和成键状态
论文摘要利用磁过滤电弧离子镀技术在单晶Si基体表面沉积了类金刚石薄膜,研究了工作气压和偏压占空比对DLC薄膜表面形貌、沉积速率和成键情况的影响.通过扫描电子显微镜观察薄膜的表面...
