类超晶格论文

  • InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究

    InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究

    论文摘要报道了采用Cl2/N2电感耦合等离子(ICP)组合体刻蚀工艺在InAs/GaSbⅡ类超晶格红外焦平面台面加工过程中的研究结果,实验采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长...