扩散阻挡性能论文

不同氮气流量AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜扩散阻挡性能研究
论文摘要目的提高铜互连扩散阻挡层的失效温度。方法采用磁控溅射方法制备了不同氮气流量下的Cu/AlCrTaTiZrNx/Si高熵合金薄膜体系,使用真空退火炉对Cu/AlCrTaT...