扩散阻挡层论文

TaN薄膜的等离子体增强原子层沉积及其抗Cu扩散性能
论文摘要使用Ta[N(CH3)2]5和NH3等离子体作为反物用等离子体增强原子层沉积工艺生长了TaN薄膜,借助原子力显微镜、X射线光电子能谱、四探针和X射线反射等手段研究了薄膜...
N5基体与NiCrAlY粘结层界面元素互扩散行为研究
论文摘要采用EB-PVD技术在镍基合金ReneN5基体表面沉积NiCrAlY粘结层,并对试样进行1000℃不同时间的恒温氧化处理,通过SEM、EDS、XRD研究了基体与粘接层界...