扩散泵论文

论文摘要本文简述扩散泵的原理、特点、分类、用途,回顾国内扩散泵发展的历史进程,分析扩散泵的现实水平、状况,探讨扩散泵未来的发展前景。论文目录1扩散泵简介2扩散泵的发展历史3扩散...

全文摘要本实用新型涉及一种集泵吸式和扩散式为一体的手持式气体检测仪器，包括手持式气体检测仪器本体和外置式走气板，检测仪器本体内设有若干传感器和一抽气泵，检测仪器本体的一侧壁上设...

全文摘要电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架...