宽测量范围论文

采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计
论文摘要感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元...