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快速热扩散论文
快速热扩散论文
对非晶硅薄膜进行快速磷扩散以获得本征薄层异质结
论文摘要本征薄层异质结(HIT)太阳能电池具有优异的性能,包括效率高、成本低、稳定性好、制备温度低等。本研究利用磁控溅射技术在p型单晶硅(pc-Si)衬底上制备一定厚度的本征非...