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掺杂类金刚石薄膜制备及其摩擦性能的仿真研究
论文摘要在分子动力学(Moleculardynamics,MD)仿真中利用高温加热和快速淬火,模拟制备出分别含有Cu或Si夹杂的类金刚石(DLC)薄膜,再通过刚性压头对表面的磨...