块材钛酸锆铅论文

隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用
论文摘要利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提...