刻蚀速率论文

MaCE法下硅纳米结构影响因素综述
论文摘要近年来,国内外学者对硅纳米线的制备方面进行了一系列的研究,得出了很多建设性的成果。本文对现行最流行的金属辅助化学刻蚀法（Metal-assistedchemicalet...
不同氪离子束参数下的蓝宝石辐照实验
论文摘要在不同氪（Kr）离子束参数下,研究了微波回旋共振离子源对旋转蓝宝石样片表面的刻蚀效果。采用四因素三水平正交实验,分析了Kr+离子束的入射角度、离子束能量、束流密度、作用...
低能Kr+离子束诱导蓝宝石晶体实验研究
论文摘要使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石（A向）自组织纳米结构,研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形成过程.采用等离子体与离子束刻蚀设备在不同...