可调谐微波器件论文

论文摘要利用射频磁控溅射法和快速热退火处理,在高电阻Si基片上制备了具有较低介电损耗的MgO掺杂Ba0.25Sr0.75TiO3（BST）铁电薄膜。通过XRD和SEM,分别对B...